温州芯生代科技有限公司是一家致力于第三代半导体硅基氮化镓(GaN)外延片研发与制造的高新技术企业,在杭州建有专业的硅基氮化镓外延产线,核心技术团队由多位国际一流半导体专家组成。并于2024年7月成为广汽埃安唯一氮化镓器件供应商。
公司面向高电压大电流HEMT功率器件应用的850V系列硅基氮化镓(GaN-on-Si)外延产品与面向HMET功率器件的其他衬底相比,GaN-on-Si可实现更大的晶圆尺寸和更多元化的应用,并且可迅速导入FAB厂主流的硅基芯片工艺制程,对提升功率器件良率有其独特优势。通过采用最先进的硅基芯片工艺制程,并与Si CMOS驱动进行高良率的混合集成,利用芯生代科技的850V Cynthus®系列GaN-on-Si外延产品,可开发出650V、900V、以及1200V HEMT产品,特别适用于设计更小、更高效的电源解决方案。
产品具有以下优势:
l 利用独有的零缺陷薄膜制备技术,显著提高了外延层各层薄膜生长的质量,并通过自主研发的高电压控制技术,实现了氮化镓850V 系列外延片的高电压、高稳定性和高质量,意味着氮化镓器件在800伏电驱或其他高压应用上将发挥重要作用。
l 制备出的GaN外延片镜面效果优异,覆盖率达100%,良品率99%以上,半峰宽稳定在450-500arcsec,电压可以达到850V以上,电流密度高达100mA/mm,成功实现了进口替代。
l 由于新的方法在成本控制方面有显著的优势,该成果还能将制备成本降低到原来的30%,进一步拓展了氮化镓器件在工业领域的应用。
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