姓 名:肖晓兰
职 位:专家智库主席
组 别:半导体材料组
个人简介:
工学博士,硕士研究生导师,广东工业大学创新创业学院和机器人工程专业课程骨干导师,精密加工技术与装备实验室核心成员,目前负责管理高技术陶瓷创新研究中心,主要从事超精密加工和机电一体化创新设计研究。主持并参与国家、省部级科研项目10余项,已发表学术期刊论文20余篇,专著6部,授权专利30余项,部分专利成果已在企业实现产业化。
研究方向,业务从向:
半导体晶圆研磨抛光加工方法与技术;
机器人模块和服务机器人等创新设计,以及相关的感知、规划和控制等核心理论与技术研发工作